特征

优点

应用

·         可用于任何惰性气体

·         轻松设置

·         安装简单

·         前置流计

·         直观的用户控制

·         安静的操作

·         快速清除和清理

·         VCR接头内部和外部

·         不锈钢结构

·         在正常操作过程中的零气体废物

·         近常压输出

·         低噪声

·         小尺寸

·         便于系统集成

·         2年保修的

·         较低的拥有成本

·         工艺鉴定

·         半导体制程监控

·         平板过程监控

·         过程趋势分析

主要技术参数及性能：

粒径范围

0.1μm 或更大

流速

1.0 CFM

输出压力

接近大气压

输入压力

30-150 psi

兼容气体

氮，氩气，氦气

运行噪音

<60 db

外壳

不锈钢

材质

316L 不锈钢

尺寸

5.61” (w) x 7.57” (h) x 10.32” (d) [14.22 x 19.30 x 26.21 cm]

重量

6 lbs (2.7 kg)

随机配件

采样管; VCR密封件; 尼龙螺帽；套圈

可选件

备用采样管; 14英寸不锈钢过滤器 (0.5μm, 2μm, 7μm, 15μm)